CMP 장비용 냉각, 웨이퍼 제조 과정의 CMP 연마 패드, 세정 모듈 챔버 등 장치 대전력 소자의 온도 저감. 고정밀 온도 제어와 신속한 대응이 필요한 제조 요구를 충족합니다.