このほど、2026 無錫 CSEAC 半導体装置・材料及びコア部品展示会が無錫太湖国際博覧センターにて円満に閉幕いたしました。今回の展示会には千社を超える上下流企業が集い、ウエハ製造、先進パッケージング、装置部品、ファブユーティリティなどの主要分野の企業が参加しました。業界の最新技術成果と国産化ソリューションを一堂に紹介し、業界全体に向け技術交流、リソースマッチング、トレンド検討の効率的なプラットフォームを構築しています。

チラー基礎講座へようこそ！冷凍原理によってチラーは圧縮機式チラー、直接熱交換式チラー、TEC 式チラーなどに分類されます。今回は TEC 式チラーの動作原理と活用メリットを中心にご紹介いたします。記事に関するご質問や、チラーに関するさらなる知識を知りたい方は、コメント欄にご記入ください。

高級レーザー加工の現場では、半導体ウェーハの切断や精密溶接などにおいて、エンジニアはしばしば難しい課題に直面します。レーザー装置本体は光束品質を安定させるために、水温の変動を±0.1℃以内に抑える必要があります。一方で、光学カッティングヘッドは高い湿度環境下での結露によるレンズの破損を防ぐため、20～25℃（変動±0.5℃以内）という比較的高い水温を維持する必要があります。従来の対応策では、独立した冷凍機を2台設置する必要があり、スペースを占有するだけでなく、互いに干渉し合い、システム全体の安定性に影響を及ぼす可能性があります。