新品上线 | 高精度四通道冷水机FCCWQ011-7402：专为半导体清洗设备打造
在半导体制造中，清洗工艺的成败关键在于温度控制的精度与稳定性。为此，FerroTec推出四通道压缩机式冷水机 FCCWQ011-7402 ——专为半导体清洗设备量身打造，凭借多通道独立控温与工业级运行稳定性，为先进制程提供洁净、可靠、无忧的温控保障。
FCCWQ011-7402 是一款采用蒸汽压缩制冷方式的高精度温控系统，具备四个独立的控温通道，每个通道均可实现-10℃~+20℃的宽温域控制，控温精度高达±0.1℃。主要适用于半导体清洗、蚀刻、去胶等对温度稳定性要求极高的工艺环节。
●专为半导体清洗设备打造
●四通道独立控制
●高控温精度±0.1℃
●各通道控温范围-10~20℃
●支持产品定制
高精度四通道冷水机
1.四通道独立控制
该冷水机采用四通道独立控温，每个通道都具备独立的制冷系统、水泵和控制系统，可实现多路工艺设备同时运行，互不干扰。单通道制冷量可达4kW@-5℃，满足高负载散热需求。
2.PID高精度控温
系统采用PID控制算法，协同电子膨胀阀和变频压缩机，实现快速响应与稳定控温。出液温度波动小，为工艺一致性和高产品良率提供可靠保障。
3.高效水冷散热系统
该冷水机采用水冷散热方式，需要配套提供温度为20±2℃、最大流量50L/min的冷却水源。稳定的水温与充足的流量可确保系统高效散热，维持整机长期稳定运行，避免过热导致的性能衰减和停机风险。
4.兼容半导体工艺介质
循环液采用50%乙二醇水溶液，所有流体接触部件均采用SUS316不锈钢材质，具备优异的耐腐蚀性和化学稳定性。环保无污染，满足高洁净环境的严苛要求。
5.多重保护功能
系统拥有高压保护、缺氟保护、低液位保护、漏液检测、水泵过载保护等多项安全功能。一旦发生异常，系统将自动停机并发出报警，有效保障设备安全与工艺连续性。
6.配备过滤减压阀
该冷水机配备SMC过滤减压阀，便于使用后快速、彻底地排空管路中的循环液，从而简化维护流程。
7.获SEMI S2和F47认证
该冷水机已通过SEMI S2与F47认证，满足半导体行业对冷却设备的高标准要求。其具备优秀的稳定性、精准控制、清洁度、可靠性和环境适应性，适用于半导体制造、激光设备、精密仪器等高端应用领域。
