FerroTec が提供するさまざまなウェーハ加熱プレートのうち、マイカタイプは優れた性能を備えているため広く使用されています。次に、8 インチのマイカ加熱プレートを例に挙げて、その構造構成と性能特性をより深く理解していただきます。

FerroTec マイカ ウェーハ加熱プレートは、熱伝導プレート、マイカ加熱プレート、低圧プレートといういくつかの主要コンポーネントで構成されています。これらのコンポーネントはそれぞれの機能を実行し、連携して動作することで、ウェハが必要な温度まで均一かつ安定して加熱されるようにします。以下に各コンポーネントの機能的な特徴を示します。

1.熱伝導プレート

熱伝導プレートはウェーハと直接接触し、加熱プレートによって生成された熱をウェーハに伝達する役割を果たします。その主な機能は、マイカ加熱プレートによって生成された熱をウェハに効率的に伝達することです。ほとんどのアプリケーション要件を満たし、コストを制御するために、通常、熱伝導率の高いアルミニウム合金が熱伝導プレートの材料として選択され、熱伝導プレートの表面は硬質陽極酸化処理されます。酸化層の厚さは一般に20μm以上であり、熱伝導板の表面を保護して傷や衝撃を防ぐだけでなく、熱伝導板内の金属イオンを効果的に遮断してウェハの汚染を防ぐこともできます。

2. マイカ加熱プレート

マイカ加熱プレートは、内部に抵抗線を備えたウェーハ加熱プレートのコア加熱要素です。抵抗線に電流が流れると、抵抗線が熱を発生し、加熱プレートに安定した信頼性の高い熱源を提供します。

3. 下圧力板

下圧力板の主な機能は、マイカ加熱板を固定し、熱が外に拡散するのを防ぎ、断熱の役割を果たすことです。ステンレス鋼は変形しにくく熱伝導率が低いため、効果的に熱を遮断し、加熱プレート内の温度安定性を確保できます。したがって、下部圧力プレートの材料としては通常ステンレス鋼を選択します。