FerroTec精彩亮相CSEAC半导体设备展,全面展示半导体温控新方案!

一、展品回顾
本次展会重点展示了TEC小型冷水机、化学液体冷水机、冷热盘及精密温控器等高精度温控产品。

TEC小型冷水机
采用先进的热电TEC温控技术体积小巧,运行无噪音,绿色环保。可实现10~60℃的升降温范围,控温精度达±0.02℃,为半导体制造工艺提供高效的温控解决方案。
化学液体冷水机
专为高腐蚀、高纯度要求的液体控温场景设计,能在强酸强碱环境下稳定运行并实现高精度控温。接触部件采用高纯PFA及石英材质,适用于各类高浓度的酸碱化学溶液、超纯水等特殊流体。
冷热盘
用于晶圆制造中的加热/冷却环节,例如涂胶、去胶、键合等场景。温度范围:热盘60℃~600℃,冷盘-15℃~60℃,满足不同半导体制程中对温度均匀性与一致性的严苛要求。
二、展会现场

Exhibition siteFerroTec凭借全球领先的热电(TEC)温控技术,吸引了众多来自半导体领域的行业专家、技术精英和客户前来共同交流分享。通过现场展示与专业讲解,让参展者深入了解了热电温控技术的优势及其未来发展前景。未来,FerroTec将持续推进在半导体各领域的高精度温控系统布局,为我国半导体事业发展贡献力量,助力国产化转型进程。
FerroTec(中国)于1992年成立于中国·杭州,旗下热电事业部主要从事Micro/Mini TEC、TEC半导体致冷器件、半导体温控设备Chiller等产品的研发、生产和销售一体化服务。历经30余年的发展壮大,现已成为全球最大的热电半导体致冷器供应商。产品广泛应用于光通信、半导体、新能源、航空航天、医疗器械等领域。
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